近日我們?cè)诤戏誓逞芯吭撼晒Π惭b一套氣氛型高溫探針臺(tái)，該探針臺(tái)嚴(yán)格按照客戶的使用要求設(shè)計(jì)制作，得到客戶的充分可定。

技術(shù)指標(biāo)：
1· 溫度范圍：室溫-350℃；
2· 控溫精度：0.5-1K，和樣品臺(tái)的水冷回路水溫穩(wěn)定性相關(guān)，盡量做到*低。
3· 樣品臺(tái)尺寸：51mm
4· 標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶
5· 真空度：10E-3Pa；
6· 提供真空抽口*1、氣體入口*1、真空釋放口*1；
7· 匹配觀察窗：1
8· 匹配探針臂：2；探針臂移動(dòng)精度：10μm；針尖：1μm；探針移動(dòng)范圍：±12.5mm；
9· 另留2個(gè)探針臂接口備用；
10.樣品臺(tái)水冷回路；
11.探針臂接口：真空型3同軸接口，所有電學(xué)線路采用屏蔽設(shè)計(jì)，測(cè)試精度：pA
12· 樣品：51mm  *小1mm  *小電極100um
13· 4升真空，1臺(tái) ，顯微鏡1臺(tái)